XX Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' , Н. Новгород, 14-18 марта 2016 г. Сверхпроводимость
Изучение эволюции атомного состава тонких пленок NbN в процессе облучения смешанными ионными пучками методами спектроскопии энергетических потерь электронов
Аннотация:
Экспериментально методами спектроскопии энергетических потерь электронов в просвечивающем электронном микроскопе в режиме трансмиссионного сканирования на образцах поперечных срезов исследовано изменение атомного состава ультратонких пленок NbN в ходе их облучения смешанными ионными пучками до дозы 4 dpa (по азоту). Установлено протекание процесса замещения атомов азота атомами кислорода, характеризующееся изменением состава проводящей части пленки с NbN на NbNO.