Механизм микродефектов при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния

Л. М. Сорокин, А. А. Ситникова, И. Ф. Червоный, Э. С. Фалькевич

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: На основе изучения распределения микродефектов по картинам селективного травления в сопоставлении с данными расчета температурного профиля вдоль растущего слитка в зависимости от скорости роста определены температуры образования микродефектов в бестигельных монокристаллах кремния диаметром ${\sim30}$ мм. Предложен механизм образования микродефектов в таком кремнии, основанный на учете взаимодействия преимущественного типа собственных точечных дефектов с остаточными ростовыми примесями (атомами кислорода и углерода).

УДК: 539.25:548.4

Поступила в редакцию: 21.05.1991

Реферативные базы данных:

•