Краткие сообщения

Взаимодействие дефектов при диффузии фосфора в кремнии

В. А. Пантелеев, М. И. Василевский, Г. М. Големшток, В. И. Окулич

Горьковский исследовательский физико-технический институт

УДК: 539.219.3

Поступила в редакцию: 12.02.1986
Исправленный вариант: 21.04.1986

Реферативные базы данных:

•