Механизмы снижения плотности дислокаций в соединениях A$_{3}$B$_{5}$ при проведении диффузии примеси

М. Ю. Мартисов, А. Е. Романов

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: Показано, что проведение диффузии примеси в соединениях A$_{3}$B$_{5}$ вызывает снижение плотности дислокаций при их переползании. Найдено, при каких плотностях дислокаций реализуются различные механизмы уменьшения их плотности путем аннигиляции или выхода из образца, и получены выражения для эффективности снижения плотности дислокаций в зависимости от концентрации примеси и глубины ее диффузии.

УДК: 548.4

Поступила в редакцию: 23.01.1991