Критерий очистки напряженной сверхрешетки от ростовых дислокаций

М. Ю. Гуткин, А. Е. Романов

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: Рассмотрена «очистка» напряженной сверхрешетки от проросших в нее из подложки ростовых дислокаций (РД). Для малой $\sim 10^{3}{-}10^{5}$ см$^{-2}$ исходной плотности РД, когда основным механизмом очистки является «вывод» скользящих в слоях с несоответствием сегментов РД на боковую поверхность системы, предложен энергетический критерий, определяющий необходимые для этого значения основных параметров сверхрешетки. Численно получена диаграмма, которая позволяет определить критические параметры системы, отвечающие переходу сверхрешетки в «очищенное» от РД состояние.

УДК: 548.4

Поступила в редакцию: 05.06.1990
Исправленный вариант: 18.12.1990

Реферативные базы данных:

•