Динамическая теория дифракции на неидеальной гетероструктуре

В. И. Пунегов

Сыктывкарский государственный университет

Аннотация: На основе статистической динамической теории дифракции исследуется рассеяние рентгеновских лучей на неидеальной трехслойной гетероструктуре. Средний слой гетероструктуры помимо статистически распределенных микродефектов имеет постоянный градиент деформации кристаллической решетки. Модель дефектов верхнего слоя задана в виде хаотически распределенных сферических аморфных кластеров. Численные расчеты кривых дифракционного отражения (КДО) от гетероструктуры Al$_{0.22}$Ga$_{0.78}$As/Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As/GaAs(00l) проведены для ряда значений статического фактора Дебая$-$Валлера каждого отдельного слоя. Концентрация х среднего слоя гетероструктуры непрерывно изменяется по толщине образца. Показано влияние диффузного рассеяния на формирование КДО каждого отдельного слоя и всей гетероструктуры.

УДК: 548.732

Поступила в редакцию: 22.05.1990
Исправленный вариант: 03.08.1990

Реферативные базы данных:

•