Эволюция упругих деформаций в эпитаксиальных пленках Ta$-$V

Л. С. Палатник, Е. Н. Зубарев, А. Н. Стеценко, В. Л. Товажнянский, А. И. Федоренко

Харьковский политехнический институт им. В. И. Ленина

Аннотация: Методами электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии изучены механизмы релаксации эпитаксиальных деформаций в (110) пленках Та$-$V. Большое несоответствие решеток металлов (${f=8.7}$%) и их сопряжение по низкосимметричной плоскости (110) обусловливают многостадийный процесс релаксации деформаций посредством введения петель вычитания в пленку Та. Несовершенные (с дефектом упаковки) петли с вектором Бюргерса ${{\mathbf b}=1/2~\langle 100\rangle}$ первоначально зарождаются по плоскостям $\{110\}$. По мере роста эти петли посредством сдвиговых реакций превращаются в совершенные с ${{\mathbf b}=1/2~\langle111\rangle}$ или ${{\mathbf b}=\langle001\rangle}$ с последующей сменой плоскости залегания. Характер сдвиговой реакции и тип образующихся совершенных петель определяются механическими напряжениями в пленке Та.

УДК: 669.292 /293:539.23

Поступила в редакцию: 05.01.1988
Исправленный вариант: 21.03.1988

Реферативные базы данных:

•