Парамагнитные и электрические свойства трансмутационной примеси фосфора в 6$H{-}$SiC

А. И. Вейнгер, А. Г. Забродский, Г. А. Ломакина, Е. Н. Мохов

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: Методом нейтронного трансмутационного легирования введена примесь фосфора (НТФ) в монокристаллический 6$H{-}$SiC и исследованы ее парамагнитные и электрические свойства в ходе изохронного отжига в течение 15 с вплоть до температуры $2100^{\circ}$С. Главные результаты работы заключаются в следующем. НТФ является мелким донором с энергией ионизации основного состояния, несколько большей, чем азот, и составляющей ${\sim0.1}$ эВ в случае слабого легирования. НТФ распределяется в подрешетке кремния и характеризуется меньшей по сравнению с азотом электронной плотностью на ядре. Спектр ЭПР, связанный с НТФ, состоит из трех групп линий: две из них с наибольшим сверхтонким расщеплением соответствуют кристаллографически неэквивалентным состояниям, а третья принадлежит комплексу фосфор + вакансия. Как следует из кинетики отжига, энергии связи кристаллографически неэквивалентных состояний «гексагонального» и «кубического» типа не сильно различаются.

УДК: 621.315

Поступила в редакцию: 17.10.1985

Реферативные базы данных:

•