Образование ячеистых структур на поверхности кремния при пикосекундном световом воздействии

А. А. Бугаев, Б. П. Захарченя, М. Г. Иванов, И. А. Меркулов

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: Сообщается о наблюдении ячеистых структур рельефа поверхности кремния при плавлении его световым импульсом пикосекундной длительности. Результаты эксперимента объясняются в рамках неустойчивости жидкой пленки кремния на стадии плавления, приводящей к образованию ячеистой структуры рельефа, которая застывает в процессе затвердевания.

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 21.11.1985

Реферативные базы данных:

•