Исследование упругонапряженного состояния монокристаллических пластин по данным рентгеновской дифракции методом наклона

С. Н. Воронков, С. К. Максимов, Ф. Н. Чуховский

Московский институт электронной техники

Аннотация: Рассматривается общий случай динамической дифракции Лауэ рентгеновских лучей с наклонной плоскостью рассеяния на изогнутом кристалле. Найдены формулы, связывающие интегральный коэффициент лауэвского отражения $R^{i}_{h}$ и угол наклона плоскости рассеяния $a$. Предложен метод решения обратной задачи дифракции — построение полной карты анизотропного поля упругих смещений в деформированном кристалле по данным измерений $R^{i}_{h}$ как функции параметра $a$. Приводятся результаты экспериментального определения поля упругих смещений в монокристаллическом кремнии, возникающего вследствие неодинаковой химико-механической обработки поверхностей кремниевой пластины.

УДК: 548.732

Поступила в редакцию: 01.12.1983
Исправленный вариант: 17.02.1984

Реферативные базы данных:

•