Краткие сообщения

Комплексообразование при диффузии фосфора в кремний

О. В. Александров, Н. В. Ашкинадзе, Р. З. Тумаров


УДК: 621.315.592.3

Поступила в редакцию: 25.05.1983
Исправленный вариант: 25.10.1983

Реферативные базы данных:

•