Краткие сообщения

Влияние температуры окисления на механические напряжения в пленках двуокиси кремния на кремнии

С. А. Литвиненко, В. И. Соколов, Н. А. Федорович

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

УДК: 621.382.2

Поступила в редакцию: 04.06.1985

Реферативные базы данных:

•