Диффузное рассеяние от стержнеобразных дефектов в кристаллах кремния с кислородом

Р. Н. Кютт, А. А. Ситникова, Л. М. Сорокин

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: Трехкристальным методом измерено диффузное рассеяние рентгеновских лучей от дефектов, возникающих кристаллах кремния, выращенных по Чохральскому с содержанием кислорода ${1.3\cdot10^{18}\,\text{см}^{-3}}$ и подвергнутых отжигу при ${T=750^{\circ}}$С. Анализ распределения диффузного рассеяния показывает, что оно исходит от стержнеобразных дефектов междоузельного типа, вытянутых вдоль направления $\langle110\rangle$. Прямое электронно-микроскопическое наблюдение подтверждает эти данные, показывая присутствие в кристалле этих дефектов с поперечным размером около 100$-$150 Å и длиной до 4 мкм и плотностью порядка $10^{8}\,\text{см}^{-2}$.

УДК: 548.5.732

Поступила в редакцию: 24.07.1984

Реферативные базы данных:

•