Аннотация:
Сверхтонкие пленки силицида железа были выращены путем высокотемпературного отжига пленок Fe толщиной от 0.14 до 0.5 nm, осажденных на поверхность кремния с ориентацией (001) при комнатной температуре. Обнаружено, что отжиг приводит к образованию на поверхности нанометровых островков силицида железа, тип которого зависит от толщины пленки Fe. С использованием методов дифракции быстрых электронов и атомно-силовой микроскопии показано, что для пленок Fe толщиной менее 0.32 nm на поверхности Si(001) происходит эпитаксиальный рост как трехмерных островков $\gamma$-FeSi$_2$, так и двумерных $\beta$-FeSi$_2$. Обнаружено, что при покрытиях Fe толщиной более 0.32 nm наблюдается полный переход к твердофазной эпитаксии только двумерных островков $\beta$-FeSi$_2$. Исследовано влияние длительного отжига при 850$^\circ$C на морфологию поверхности пленки силицида железа.
