Аннотация:
Обнаружено изменение спектров электронного парамагнитного резонанса в монокристаллах кремния Cz–Si, пластически деформированных изгибом и кручением. Пластическая деформация пластин кремния, сопровождающаяся введением дислокаций $\sim$10$^7$ cm$^{-2}$, приводит к появлению новых линий в спектре электронного парамагнитного резонанса. Парамагнитные центры, вводимые при изгибе и кручении, и их спектры электронного парамагнитного резонанса отличаются от центров, исследованных ранее в условиях одноосной деформации. Пластическая деформация приводит к значительному увеличению диамагнитной составляющей магнитной восприимчивости, которое превышает рост парамагнитной составляющей в кристаллах Cz–Si.