Эта публикация цитируется в 7 статьях

Системы низкой размерности

Влияние хемосорбированных молекул кислорода и монооксида углерода на свойства нанопленочных структур Yb–Si(111)

М. В. Кузьмин, М. А. Митцев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Изучено влияние хемосорбированных молекул O$_2$ и CO на свойства пленочных структур вида пленка иттербия нанометровой толщины–кремниевая подложка Si(111) и, в частности, на реакции между металлом и кремнием. Показано, что хемосорбция указанных молекул на структурах Yb–Sb(111) сопровождается частичным или полным прекращением роста силицида иттербия и что влияние адсорбатов на реакции на границе раздела металл–кремний зависит от толщины нанослоя иттербия. Так, при толщине пленок 8 монослоев и больших дозах кислорода (360 Ленгмюр) хемосорбированные молекулы полностью блокируют процесс силицидообразования. При больших толщинах пленок иттербия (16 монослоев) и больших дозах кислорода (360 Ленгмюр) или монооксида углерода (480 Ленгмюр) рост силицида происходит, но только, по-видимому, в слоях нанопленок иттербия, ближайших к подложке. Влияние адсорбированных молекул на процесс силицидообразования ослабевает также при уменьшении количества этих молекул на поверхности, т. е. при уменьшении их дозы.

Поступила в редакцию: 12.11.2010

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2011, 53:6, 1292–1297

Реферативные базы данных:

•