Эта публикация цитируется в 7 статьях

Механические свойства, физика прочности и пластичность

Электрические свойства пластически деформированного кремния при взаимодействии с примесью железа

О. В. Феклисова, Е. Б. Якимов

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия

Аннотация: Методами растровой электронной микроскопии и нестационарной спектроскопии глубоких уровней исследовано изменение рекомбинационных свойств пластически деформированного кремния в результате взаимодействия с примесью железа, введенной посредством диффузии при 1000$^\circ$C. Обнаружено увеличение рекомбинационной активности дислокаций и плоскостей скольжения за дислокациями вследствие ускоренного образования на этих дефектах преципитатов железа. Из измерений наведенного электронным пучком тока проведены оценки концентрации и рассчитаны размеры образующихся преципитатов, которые достигали нескольких сотен нанометров.

Поступила в редакцию: 03.09.2010
Принята в печать: 12.12.2010

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2011, 53:6, 1240–1243

Реферативные базы данных:

•