Аннотация:
В рамках синергетического подхода проанализированы условия, обеспечивающие близость стационарного процесса конденсации/распыления к фазовому равновесию. Показано, что флуктуации температуры ростовой поверхности и потока десорбции адатомов играют роль мультипликативного шума, усиление которого приводит к трансформации унимодального распределения пересыщения осаждаемого компонента в бимодальное. Продемонстрировано, что подобную трансформацию обеспечивает зависимость времени релаксации пересыщения от величины последнего. Предложенная картина подтверждается экспериментальными данными, согласно которым указанная бистабильность проявляется в том, что стационарное состояние квазиравновесной системы плазма-конденсат отвечает не только напылению, но и самоорганизованному режиму разборки предварительно напыленного конденсата.