Международная конференция ФизикА.СПб, 20-24 октября 2025 г., Санкт-Петербург
Физика поверхности, тонкие пленки

Формирование транспортных слоев диоксида титана с фрактально-перколяционной структурой

Е. Н. Муратова^a, А. Ю. Гагарина^a, В. П. Безверхний^a, В. А. Мошников^a, А. И. Максимов^a, Д. А. Козодаев, И. А. Врублевский^b, Н. В. Лушпа<sup>b

a</sup> Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
^b Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь

Аннотация: Предложен и реализован способ формирования наноструктурированного слоя диоксида титана путем окисления двухслойного покрытия Al|Ti методом электрохимического анодирования. Особенностью слоя является сохранение проводящих (перколяционных) свойств при фрактализации структуры. Сочетание фрактальной структуры транспортного слоя, препятствующей деградации рабочего слоя солнечного элемента, и возникновения перколяционных проводящих каналов на интерфейсе образующихся оксидных фаз титана и алюминия перспективно для развития межслоевого дизайна. Для анализа наноархитектоники слоев применены методики атомно-силовой микроскопии.

Ключевые слова: наноархитектоника, электрохимическое оксидирование, интерфейс Al–Ti, атомно-силовая микроскопия.

Поступила в редакцию: 30.04.2025
Исправленный вариант: 08.09.2025
Принята в печать: 11.11.2025

DOI: 10.61011/FTT.2025.12.62439.8062k-25