Эта публикация цитируется в 9 статьях

Примесные центры

Кинетическая модель роста и коалесценции преципитатов кислорода и углерода во время охлаждения кристалла кремния после выращивания

В. И. Таланин, И. Е. Таланин

Классический приватный университет, Запорожье, Украина

Аннотация: Предложена кинетическая модель роста и коалесценции преципитатов кислорода и углерода. Ее сочетание с кинетической моделью образования преципитатов кислорода и углерода представляет собой единую модель процесса преципитации в бездислокационных монокристаллах кремния во время их охлаждения в температурном интервале 1683–300 K после выращивания. Показано, что результаты расчетов хорошо согласуются с экспериментальными данными по исследованию ростовых микродефектов.

Поступила в редакцию: 05.04.2010
Принята в печать: 15.06.2010

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2011, 53:1, 119–126

Реферативные базы данных:

•