Аннотация:
Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектроскопии исследована кинетика образования и роста критических зародышей в наноструктурных пленках боридов, нитридов и силицидов, выращенных методами ионного осаждения. Получены соотношения, позволяющие не только рассчитывать размер критических зародышей, скорость их образования и роста в пленках, но и прогнозировать эти параметры на основе данных по адгезии, пересыщению и упругим характеристикам выращиваемых фаз.
Поступила в редакцию: 26.03.2012 Принята в печать: 15.05.2012