Эта публикация цитируется в 1 статье

Магнетизм

Зависимость микроструктуры и магнитных свойств аморфных пленок TbFeCo от типа и давления газа при распылении

А. С. Камзин^a, В. Р. Ганеев^b, Л. Д. Зарипова<sup>b

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Казанский (Приволжский) федеральный университет

Аннотация: Методом магнетронного распыления получены аморфные пленки Tb$_{30}$Fe$_{60}$Co$_{10}$. Исследованы зависимости микроструктуры и магнитных свойств этих пленок от типа и давления газа в камере распыления. Для экспериментов применялись газы Ar, Kr, и Xe в области давлений в камере распыления от 0.01 до 4 Ра. Установлено, что при распылении в тяжелом газе (Kr) в исследованном диапазоне давлений невозможно получить пленки TbFeCo с осью легкого намагничивания, перпендикулярной плоскости пленок. При использовании Xe в области давлений ниже 1.0 Ра в пленках TbFeCo наблюдается увеличение коэрцитивности, и форма петли гистерезиса приближается к прямоугольной. При распылении и осаждении в среде Ar при давлении $\sim$0.67 Pa получены аморфные пленки Tb$_{30}$Fe$_{60}$Co$_{10}$ с магнитными характеристиками, удовлетворяющими требованиям к носителям информации с перпендикулярным типом записи. Таким образом, показано, что методом магнетронного распыления в атмосфере Ar при давлениях менее 1 Ра можно получить аморфные пленки Tb$_{30}$Fe$_{60}$Co$_{10}$ для магнитооптической записи информации со сверхвысокой плотностью.

Поступила в редакцию: 16.01.2012
Принята в печать: 05.05.2012

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2012, 54:12, 2395–2399

Реферативные базы данных:

•