Аннотация:
Исследовано влияние облучения реакторными нейтронами на структуру нанокристаллов германия, внедренных методом ионной имплантации в аморфную пленку двуокиси кремния. Исследования проводились с помощью методов лазерного рамановского рассеяния, просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Облучение образцов большими дозами быстрых реакторных нейтронов привело к разрушению кристаллической структуры и аморфизации части нанокристаллов, однако значительная их часть сохранилась, что обусловливает перспективность этого материала для создания приборов, работающих в экстремальных условиях. Отжиг радиационных дефектов и полное восстановление кристаллической структуры наблюдались при 800$^\circ$С, однако при этом средние размеры нанокристаллов и их пространственное распределение изменились.