Эта публикация цитируется в 4 статьях

Физика поверхности, тонкие пленки

Термохимическая нитридизация подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций

C. B. Нижанковский, А. А. Крухмалёв, Х. Ш.-оглы Калтаев, Н. С. Сидельникова, А. Т. Будников, В. Ф. Ткаченко, М. В. Добротворская, Е. А. Вовк, С. И. Кривоногов, Г. Т. Адонкин

Институт монокристаллов НАН Украины, г. Харьков

Аннотация: Представлены результаты исследований влияния физико-химических параметров термохимической нитридизации подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций в восстановительной атмосфере N$_2$ + (СО, Н$_2$) на структурные характеристики, состав и кинетику формирования слоев AlN. Определены эффективные коэффициенты диффузии азота в сапфире при $T$ = 1473–1773 K. Установлены температурные зависимости структурного совершенства, толщины и шероховатости поверхности слоев AlN, показана их существенная зависимость от состава и восстановительного потенциала атмосферы нитридизации. Предложены структурные модели согласования кристаллических решеток AlN и сапфира при термохимической нитридизации.

Поступила в редакцию: 29.02.2012

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2012, 54:9, 1896–1902

Реферативные базы данных:

•