Аннотация:
Получены сверхтвердые покрытия на основе Ti–Hf–Si–N c хорошими физико-механическими свойствами свойствами, на которых выполнен сравнительный анализ физических, механических и трибомеханических характеристик. Определены и рассчитаны значения твердости, модуля упругости, величины упругого восстановления, адгезионной прочности, коэффициента трения и скорости износа. Описаны особенности деформации и разрушения покрытий, осажденных на подложку из стали, при проведении адгезионных испытаний. Показано, что совокупность параметров, регистрируемых в процессе царапания, позволяет различать пороговые значения критической нагрузки, приводящие к разным типам (когезионному и адгезионному разрушения покрытий при трибологических испытаниях. С помощью методов резерфордовского обратного рассеяния, вторичной ионной масс-спектрометрии, энергодисперсионного микроанализа была определена стехиометрия для разных серий образцов с покрытиями Ti–Hf–Si–N.