Эта публикация цитируется в 6 статьях

Механические свойства, физика прочности и пластичность

Внутренние механические напряжения, термодинамические и адгезионные параметры в системе металлический конденсат-монокристаллический кремний

Б. П. Коман^a, В. Н. Юзевич<sup>b

a</sup> Львовский национальный университет им. И. Франко
^b Физико-механический институт им. Г. В. Карпенко НАН Украины, Львов, Украина

Аннотация: C помощью консольного метода экспериментально исследована кинетика формирования внутренних механических напряжений $\sigma(d)$ в тонких пленках хрома, меди, золота и алюминия на кремниевых монокристаллических подложках при различных скоростях осаждения. Обнаружен двухстадийный характер изменений внутренних напряжений растягивающего типа. Установлены закономерности формирования максимального уровня механических напряжений в исследуемых конденсатах. С применением макроскопических методов физики поверхности исследованы энергетические и адгезионные параметры в нанослоях хрома, меди, золота и алюминия на подложках кремния, германия и никеля. Получены значения межфазной энергии, межфазового натяжения, работы адгезии, межфазного заряда и новой энергетической характеристики межфазного слоя – энергии адгезии этих связей, которая превалирует над межфазной энергией.

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2012, 54:7, 1417–1424

Реферативные базы данных:

•