Аннотация:
На основании сравнительного анализа вида спектров катодолюминесценции и электролюминесценции структур Si–SiO$_2$ сделано заключение о процессах возбуждения и области локализации центров свечения, проявляющихся в УФ-области спектра. Электролюминесценция в этой области спектра обусловлена возбуждением центров свечения, локализованных в непосредственной близости от межфазовой границы Si–SiO$_2$. В случае катодолюминесценции наблюдаемые полосы излучения с максимумами при энергиях $\sim$4.3 и $\sim$2.7 eV связаны с образованием в процессе возбуждения люминесценции силиленовых центров в области межфазовой границы Si–SiO$_2$.