Аннотация:
С помощью просвечивающей электронной микроскопии и энергодисперсионного анализа исследована структура тонких пленок цирконата-титаната свинца Pb(Zr$_x$Ti$_{1-x}$)O$_3$, полученных методом химического осаждения из растворов на подложках Si–SiO$_2$–Ti–Pt. Кристаллизация пленок проводилась с помощью лазерного отжига. Установлено, что в отличие от изотермического отжига, где преобладает зарождение на слое платины, кристаллизация и рост сферических кристаллов перовскита происходят в объеме пленки. Размер кристаллов перовскитной фазы увеличивается при увеличении энергии лазерного пучка от 10 до 120 nm.