Эта публикация цитируется в 3 статьях

XIX Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XIX) Москва (19-23 июня 2011 года)

Конденсаторные структуры на основе пленок титаната стронция

А. В. Тумаркин, М. М. Гайдуков, С. В. Разумов, А. Г. Гагарин

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)

Аннотация: Исследованы структурные свойства пленок титаната стронция и электрофизические параметры конденсаторов на их основе. Установлено, что температура осаждения оказывает прямое влияние на фазовый состав пленок, совершенство кристаллической структуры, внутренние напряжения в решетке. Пленки титаната стронция, осажденные при температуре 800$^\circ$C, являются однофазными, имеют достаточно совершенную кристаллическую структуру и минимальные внутренние напряжения. Показано, что конденсаторные структуры на основе ориентированных пленок титаната стронция обеспечивают двукратное уменьшение уровня диэлектрических потерь по сравнению с аналогичными структурами на основе пленок из твердого раствора титаната бария-стронция на частоте 1.5 GHz.

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2012, 54:5, 968–971

Реферативные базы данных:

•