Аннотация:
Аналитически решена задача релаксации заряда, инжектированного в диэлектрическую пленку, с учетом ее проводимости и захвата носителей как объемными, так и поверхностными глубокими ловушками с быстрой (практически мгновенной) зарядкой, имеющими конечные скорости разрядки. Выполнен анализ поведения заряда в однозонном и двухзонном режимах релаксации. Общие аналитические выражения дают в частных случаях ранее опубликованные результаты. Численные расчеты и анализ экспериментальных данных для пленок оксида титана, осажденных на металлические подложки, подтвердили применимость разработанной модели.