Аннотация:
Гетерофазные текстурированные пленки диоксида ванадия на подложке монокристаллического кремния синтезированы золь-гель-методом из растворов триэтоксиванадила VO(OEt)$_3$ в метилцеллозольве СН$_3$ОСН$_2$СН$_2$ОН. Исследовано влияние хемосорбции озона и паров этанола на параметры фазового перехода полупроводник-металл в диоксиде ванадия VO$_2$(B). Обнаружено повышение температуры перехода в восстановительной атмосфере и ее понижение в окислительной атмосфере.
Поступила в редакцию: 12.03.2013 Принята в печать: 22.04.2013