Металлы

Размерозависимые оптические свойства массивов наночастиц алюминия, сформированных вакуум-термическим нанесением

О. П. Горелков, Л. С. Волкова, Т. С. Гришин, А. О. Козлов, А. Ю. Трифонов, А. В. Павликов, И. В. Лавров, С. В. Дубков, А. В. Аникин, Д. Г. Громов

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", Москва, Зеленоград, Россия

Аннотация: С использованием методов РЭМ, ПЭМ и эллипсометрии исследованы процессы формирования массивов наночастиц алюминия (Al-НЧ) методом вакуум-термического испарения и конденсации при температуре подложки 150$^\circ$C. Показано, что частицы в массиве имеют приплюснутую форму, а их средний размер в массиве линейно зависит от количества осаждаемого алюминия. Получены экспериментальные спектральные зависимости показателя преломления, коэффициентов экстинкции и пропускания массивов Al, покрытых слоем SiO$_2$. Экспериментальные данные сопоставлены с результатами моделирования композиционного материала Al-НЧ/SiO$_2$ c использованием приближения Максвелла–Гарнетта и его обобщения. Показано, что важным фактором, определяющим спектральные оптические характеристики композиционного материала Al-НЧ/SiO$_2$, играет неоднородность формы наночастиц Al в массиве.

Ключевые слова: плазмонный резонанс, алюминий, наночастицы, электронно-лучевое испарение, эллипсометрия, оптические свойства.

Поступила в редакцию: 15.08.2025
Исправленный вариант: 15.08.2025
Принята в печать: 28.08.2025

DOI: 10.61011/FTT.2025.09.61612.231-25

Реферативные базы данных:

•