Эта публикация цитируется в
1 статье
Сегнетоэлектричество
Деградация емкости межфазной границы SrRuO$_3$/SrTiO$_3$, индуцированная механическими напряжениями
Ю. А. Бойковa,
Т. Клаесонb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Чалмерский технический университет,
Гетеборг, Швеция
Аннотация:
Методом лазерного испарения выращены трехслойные эпитаксиальные гетероструктуры, в которых промежуточный слой SrTiO
$_3$ толщиной в 700 nm интегрирован с двумя электродами SrRuO
$_3$. В верхнем электроде с использованием фотолитографии и ионного травления были сформированы два десятка контактных площадок (
$S\approx$ 0.1 mm
$^2$). Нижний электрод SrRuO
$_3$, выращенный на подложке (001)MgO, являлся общим для всех пленочных конденсаторов на чипе. С понижением температуры в интервале 300–50 K емкость
$C$ конденсаторов возрастала более чем в два раза вследствие увеличения диэлектрической проницаемости
$\varepsilon$ промежуточного слоя. При
$T$ = 4.2 K уменьшение
$C$ при подаче на оксидные электроды напряжения смещения
$\pm$ 2.5 V составляло порядка 40%. В интервале температуры 100–300 K отношение
$\varepsilon_0/\varepsilon$ практически линейно возрастало с температурой (
$\varepsilon_0$ – диэлектрическая проницаемость вакуума). При
$T>$ 250 K тангенс угла диэлектрических потерь промежуточного слоя SrTiO
$_3$ экспоненциально возрастал с температурой и существенно зависел от напряжения смещения, поданного на оксидные электроды.
Поступила в редакцию: 14.05.2014