Э. П. Домашевская, А. В. Чернышев, С. Ю. Турищев, Ю. Е. Калинин, А. В. Ситников, Д. Е. Марченко, “XPS-исследования межатомных взаимодействий в поверхностном слое многослойных наноструктур (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/$a$-Si)$_{40}$ и (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/SiO$_2$)$_{32}$”, Физика твердого тела, 2014, том 56, выпуск 11,страницы 2219

Эта публикация цитируется в 11 статьях

Физика поверхности, тонкие пленки

XPS-исследования межатомных взаимодействий в поверхностном слое многослойных наноструктур (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/$a$-Si)$_{40}$ и (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/SiO$_2$)$_{32}$

Э. П. Домашевская^a, А. В. Чернышев^a, С. Ю. Турищев^a, Ю. Е. Калинин^b, А. В. Ситников^b, Д. Е. Марченко^c

^a Воронежский государственный университет
^b Воронежский государственный технический университет
^c Physikalische und Theoretische Chemie, Freie Universität Berlin, Berlin, Germany

Аннотация: Характер межатомного взаимодействия и химическое состояние элементов в аморфных многослойных наноструктурах (МНС) (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/$a$-Si)$_{40}$ и (Co$_{45}$Fe$_{45}$Zr$_{10}$/SiO$_2$)$_{32}$ с различными прослойками исследованы с помощью метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) с использованием синхротронного излучения. Результаты фотоэлектронных исследований показали, что в поверхностных слоях всех МНС компоненты металлического слоя Co, Fe, Zr находятся в окисленном состоянии. Независимо от предполагаемого состава прослоек SiO$_2$ и $a$-Si состояние кремния оказывается одинаковым и близким к состоянию нестехиометрического оксида кремния. После удаления поверхностных слоев МНС в камере подготовки образцов методом ионного травления компоненты металлического слоя Co, Fe, Zr оказываются преимущественно в элементарном состоянии.

Поступила в редакцию: 10.12.2013
Принята в печать: 09.06.2014