Аннотация:
В углеродно-кремниевой плазме высокочастотной дуги в атмосфере гелия при давлении 0.1–0.6 MPa получены наночастицы и нанопроволоки карбида кремния 6H-SiC. Показано, что нанопроволоки 6H-SiC растут из дуговой плазмы, так же как и из пара, по известному механизму пар-твердое тело конденсации на холодной поверхности, покрытой зародышами монокристаллического карбида кремния. Содержание нанопроволок карбида кремния в конденсате достигало 60 wt.%. Полученные монокристаллические нанопроволоки 6H-SiC имели диаметр 15–18 nm и длину 200–600 nm.