Эта публикация цитируется в 7 статьях

Физика поверхности, тонкие пленки

Диагностика атомной структуры металлических мультислойных наногетероструктур по данным рефлектометрии: новый подход к низкоконтрастным системам

Ю. А. Бабанов^a, Ю. А. Саламатов^a, В. В. Устинов^a, Э. Х. Мухамеджанов<sup>b

a</sup> Институт физики металлов УрО РАН, Екатеринбург, Россия
^b Российский научный центр "Курчатовский институт", г. Москва

Аннотация: Разработан новый метод определения концентрационного профиля элементов металлических многослойных наногетероструктур для низкоконтрастных систем по данным рентгеновской рефлектометрии. Метод основан на решении интегрального уравнения Фредгольма первого рода, связывающего коэффициент отражения с концентрационными профилями элементов, входящих в состав образца. Обратная некорректная задача по определению концентрационного профиля решается методом регуляризации. Эффективность предлагаемого метода подтверждается модельными расчeтами, выполненными для четырeхслойной структуры Cr/Gd/Fe/Cr//Si, где имеются как высококонтрастные пары (Cr/Gd), так и пары с низкой контрастностью (Fe/Cr). Получены экспериментальные результаты по определению концентрационного профиля поверхностного слоя тонких эпитаксиальных плeнок Cr и трeхслойной структуры Cr/Fe/Cr, нанесeнных на подложку Al$_2$O$_3$.

Поступила в редакцию: 23.10.2013
Принята в печать: 13.03.2014

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2014, 56:9, 1904–1915

Реферативные базы данных:

•