Физика поверхности, тонкие пленки

Электрическое сопротивление и $1/f$-флуктуации в тонких пленках титана

О. В. Геращенко, В. А. Матвеев, Н. К. Плешанов, В. Ю. Байрамуков

Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Аннотация: Определена толщина металлического слоя, исследованы электрическое удельное сопротивление и спектральная плотность флуктуаций напряжения в тонких пленках титана с исходной толщиной 5–100 nm, полученных магнетронным напылением и предназначенных для перспективных элементов нейтронной оптики. Обнаружено, что в даже в самых тонких образцах сохраняется необходимый для функционирования сплошной металлический слой, при этом наблюдаются избыточные флуктуации его сопротивления со спектром $1/f$-типа. Показано, что метод измерения электрического сопротивления пленки можно использовать как эффективный экспресс-метод определения толщин металлических нанослоев.

Поступила в редакцию: 16.12.2013

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2014, 56:7, 1438–1442

Реферативные базы данных:

•