Эта публикация цитируется в 126 статьях

Обзоры

Электронная структура оксида кремния (Обзор)

С. С. Некрашевич, В. А. Гриценко

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск

Аннотация: Аморфные пленки оксида кремния являются ключевым диэлектриком в кремниевых интегральных схемах. Физические свойства оксида кремния определяются его электронной структурой. Cистематизированы современные сведения об электронной структуре оксида кремния.

Поступила в редакцию: 03.07.2013

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2014, 56:2, 207–222

Реферативные базы данных:

•