Аннотация:
Исследуется синтез наночастиц диоксида циркония (ZrO$_2$) с различным процентным содержанием моноклинной и тетрагональной фаз. Это достигнуто путем регулирования процентного содержания кислорода в газовой смеси в плазмохимическом процессе испарения-конденсации в плазме дугового разряда низкого давления. Кристаллическая структура синтезированных наночастиц ZrO$_2$ исследована методом рентгеновской дифракции; морфология частиц изучена с помощью просвечивающей электронной микроскопии. Процесс роста наночастиц в плазме дугового разряда исследован с помощью оптической эмиссионной спектроскопии. При помощи рентгенофазового анализа установлено, что содержание моноклинной фазы ZrO$_2$ увеличивается с уменьшением содержания кислорода в газовой смеси с аргоном.