Эта публикация цитируется в 16 статьях

Физика поверхности, тонкие пленки

Синтез, структура и оптические характеристики тонких пленок ниобата бария-стронция

Г. Н. Толмачев^ab, А. П. Ковтун^ab, И. Н. Захарченко^b, И. М. Алиев^b, А. В. Павленко^a, Л. А. Резниченко^b, И. А. Вербенко<sup>b

a</sup> Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону
^b Научно-исследовательский институт физики, Южный федеральный университет, г. Ростов-на-Дону

Аннотация: Методом высокочастотного RF-напыления в атмосфере кислорода получены пленки твердого раствора Ba$_{0.5}$Sr$_{0.5}$Nb$_2$O$_6$ (BSN) на подложке MgO (001). Изучены спектры оптического свечения разряда при распылении керамической мишени BSN, структура и оптические характеристики пленок BSN/MgO (001) при комнатной температуре. Показано, что пленки BSN растут из дисперсной фазы в разрядном промежутке, а скорость их роста при используемом режиме напыления на начальном этапе составляет 8–9 nm/min. Установлено, что полученные пленки являются монокристаллческими, характеризуются наличием двойников, а поверхности пленок параллельны кристаллографическим плоскостям (001). В семействе кривых зеркального отражения $H$-поляризованного излучения с длинами волн 500–800 nm от исследуемых пленок при комнатной температуре обнаружен угол, при котором интенсивность отражения не зависит от толщины пленки. Тангенс этого угла равен показателю преломления материала пленок, а его наличие свидетельствует об идентичности оптических характеристик материала пленок различных толщин и низкой шероховатости их поверхностей.

Поступила в редакцию: 07.04.2015
Принята в печать: 20.04.2015

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2015, 57:10, 2106–2111

Реферативные базы данных:

•