Эта публикация цитируется в 7 статьях

Физика поверхности, тонкие пленки

Влияние процессов в факеле при лазерной абляции на удельное сопротивление и морфологию нанокристаллических пленок ZnO

О. А. Агеев^a, А. П. Достанко^b, Е. Г. Замбург^a, Б. Г. Коноплев^a, В. В. Поляков^a, Д. И. Чередниченко<sup>a

a</sup> Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
^b Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

Аннотация: Изучены особенности формирования нанокристаллических пленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения при различных расстояних мишень-подложка. Получены выражения для оценки температуры, концентрации частиц и давления в факеле при лазерной абляции. Проведена оценка влияния этих параметров на электрофизические свойства нанокристаллических пленок ZnO, полученных методом импульсного лазерного осаждения. Продемонстрирована возможность контролируемого получения нанокристаллических пленок ZnO с шероховатостью поверхности в диапазоне 2–15 nm, диаметром зерен в интервале 70–620 nm, удельным сопротивлением в диапазоне (1.75–5.3) $\cdot$ 10$^{-3}$ $\Omega$ $\cdot$ cm.

Поступила в редакцию: 22.01.2015

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2015, 57:10, 2093–2098

Реферативные базы данных:

•