Эта публикация цитируется в 4 статьях

Физика поверхности, тонкие пленки

Топология анодно сформированной окисной пленки на монокристалле кремния

А. М. Орлов, И. О. Явтушенко, М. Ю. Махмуд-Ахунов

Ульяновский государственный университет

Аннотация: Представлены результаты исследований морфологических свойств окисной пленки, полученной на монокристаллическом кремнии анодным окислением в дистиллированной воде в потенциостатическом режиме. Установлено, что оксидная пленка независимо от значения прикладываемого потенциала и времени анодной обработки всегда формируется в виде отдельных островков, форма которых зависит от ориентации подложки.

Поступила в редакцию: 15.12.2014

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2015, 57:8, 1653–1658

Реферативные базы данных:

•