Эта публикация цитируется в 7 статьях

Системы низкой размерности

Структура и свойства нанокомпозитных пленок Nb–Al–N

В. И. Иващенко^a, А. Д. Погребняк^b, О. В. Соболь^c, П. Л. Скрынский^a, В. Н. Рогоз^b, А. А. Мейлехов^c, С. Н. Дуб^d, А. И. Купчишин<sup>e

a</sup> Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, г. Киев
^b Сумской государственный университет
^c Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
^d Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, г. Киев
^e Казахский национальный педагогический университет им. Абая

Аннотация: Исследованы нанокомпозитные пленки Nb–Al–N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках обнаружены два устойчивых кристаллических структурных состояния: NbN$_z$ и твердый раствор B1-Nb$_{1-x}$Al$_x$N$_y$O$_{1-y}$, а также аморфноподобная составляющая, связанная с оксинитридом алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлены чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на Al-мишень, и их связь с характеристикой нанотвердости и твердости по Кнупу. Последние изменяются в диапазонах 29–33.5 и 46–48 GPa соответственно. Для интерпретации полученных результатов впервые проведены ab initio расчеты фаз NbN$_z$ и Nb$_2$AlN, а также гетероструктур NbN/AlN.

Поступила в редакцию: 27.01.2015
Принята в печать: 06.02.2015

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2015, 57:8, 1642–1646

Реферативные базы данных:

•