Эта публикация цитируется в 28 статьях

Механические свойства, физика прочности и пластичность

Влияние имплантации ионов Au$^-$ на микроструктуру и механические свойства многоэлементного наноструктурного покрытия (TiZrHfVNbTa)N

А. Д. Погребняк^a, И. В. Якущенко^a, О. В. Бондар^a, О. В. Соболь^b, В. М. Береснев^c, K. Oyoshi^d, H. Amekura^d, Y. Takeda<sup>d

a</sup> Сумской государственный университет
^b Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
^c Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина
^d National Institute for Material Science (NIMS), Tsukuba, Japan

Аннотация: В результате вакуумно-дугового осаждения наноструктурного многокомпонентного покрытия (TiZrHfVNbTa)N обнаружено образование фазы с ГЦК-решеткой структурного типа NaCl. Имплантация отрицательных ионов Au$^-$ дозой 1 $\cdot$ 10$^{17}$ cm$^{-2}$ приводит к формированию разупорядоченной поликристаллической структуры без преимущественной ориентации ГЦК-фазы, происходит диспергирование нанокристаллитов от 5–7 nm до 1–3 nm в слое глубиной до 35 nm. Величина нанотвердости увеличивается до 33 GPa, твердость по Виккерсу достигает значений 51 GPa. В приповерхностной области формируются нанокластеры из Au, а в самом покрытии фиксируется наличие ГЦК-решетки и образование локальных областей Au. На глубинах свыше 180 nm формируются участки с ГПУ-решеткой из-за малой концентрации азота.

Поступила в редакцию: 09.02.2015

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2015, 57:8, 1559–1564

Реферативные базы данных:

•