Эта публикация цитируется в 23 статьях

ХХ Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XX)

Структурные свойства пленочного титаната бария-стронция в зависимости от технологических условий роста пленок

А. В. Тумаркин, В. И. Альмяшев, С. В. Разумов, М. М. Гайдуков, А. Г. Гагарин, А. Г. Алтынников, А. Б. Козырев

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследованы структурные свойства сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция различного состава в зависимости от технологических условий осаждения. Показано, что температура осаждения оказывает прямое влияние на фазовый и компонентный состав пленок, параметры кристаллической решетки и размеры кристаллитов. При температуре осаждения порядка 600$^\circ$C наряду с фазой титаната бария-стронция образуются примесные фазы полититанатов стронция. При увеличении температуры до 880$^\circ$C в пленках наблюдается недостаток бария по сравнению с распыляемой мишенью. Оценена температура осаждения, обеспечивающая стехиометрический перенос компонентного состава мишени в пленку титаната бария-стронция.

 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2015, 57:3, 553–557

Реферативные базы данных:

•