Фазовые переходы

Формирование наночастиц катализатора роста углеродных нанотрубок при отжиге аморфных пленок Co–Zr–O

С. В. Булярский^a, П. Е. Львов^ab, А. А. Павлов^a, А. В. Терентьев<sup>c

a</sup> Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
^b Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
^c Московский институт электроники и математики им. А. Н. Тихонова – Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Москва, Россия

Аннотация: Формирование наноразмерных частиц катализатора роста углеродных нанотрубок может быть осуществлено при кристаллизации аморфных пленок, состоящих из двух металлов, один из которых имеет более высокую свободную энергию оксида. При отжиге, в присутствии кислорода, этот металл окисляется с восстановлением второго металла, который образует наночастицы, размещенные в оксиде первого. Этот процесс экспериментально и теоретически изучен на примере образования наночастиц кобальта на поверхности аморфных пленок Co–Zr–O в результате распада пересыщенного твердого раствора и механических напряжений, возникающих при окислении циркония. Предложен механизм и феноменологическая модель формирования наночастиц кобальта, разработанная на основе теории фазового поля.

Ключевые слова: углеродные нанотрубки, наночастицы катализаторов, фазовые переходы, распад пересыщенных твердых растворов.

Поступила в редакцию: 02.06.2022
Исправленный вариант: 02.06.2022
Принята в печать: 12.06.2022

DOI: 10.21883/FTT.2022.11.53340.394

Реферативные базы данных:

•