XXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14 - 17 марта 2022 г.
Сверхпроводимость

Двухслойные логические элементы для классических криогенных компьютеров

Б. А. Гурович^a, К. Е. Приходько^ab, Л. В. Кутузов^a, Б. В. Гончаров^a, Д. А. Комаров^a, Е. М. Малиева<sup>a

a</sup> Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия

Аннотация: Впервые изготовлены двухслойные логические элементы “НЕ”, “И”, “ИЛИ” и “ИЛИ-НЕ”, в которых нагревающий элемент нанопровода в одном слое находится в месте, где находится нагреваемый элемент другого нанопровода в соседнем слое. Для изготовления сверхпроводящих нанопроводов был использован NbN (5–7 nm), а в качестве межслоевого диэлектрика применялся Al$_2$O$_3$ (25 nm). В работе показано устройство логических элементов, а также продемонстрирована их работа в импульсном режиме. Применение многослойных структур без гальванической связи между нанопроводами позволяет производить проектирование многоуровневых логических устройств.

Ключевые слова: тонкие сверхпроводящие пленки NbN, бесконтактное переключение состояния сверхпроводника, криоэлектронные устройства, интегрированные криогенные резисторы, логические элементы "НЕ"/"И"/"ИЛИ"/"ИЛИ-НЕ", криогенные компьютеры.

Поступила в редакцию: 29.04.2022
Исправленный вариант: 29.04.2022
Принята в печать: 12.05.2022

DOI: 10.21883/FTT.2022.10.53079.47HH

Реферативные базы данных:

•