XXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14 - 17 марта 2022 г.
Сверхпроводимость

Моделирование распределения температур в функциональном наноэлементе из NbN со встроенной областью нормального металла

Б. А. Гурович^a, Б. В. Гончаров^a, К. Е. Приходько^ab, Л. В. Кутузов<sup>a

a</sup> Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия

Аннотация: Проведено моделирование распределения температур в функциональном наноэлементе из NbN со встроенной областью нормального металла. Функциональный элемент представляет собой два нанопровода из NbN толщиной 4 nm, расположенных на подложке из монокристаллического Al$_2$O$_3$. Провода разделены слоем диэлектрика толщиной 10 nm. В нижний нанопровод с помощью технологии СЗА, встроена область нормального металла. Дана приблизительная оценка быстродействия функциональных наноструктур, для создания которых используется подобный поход.

Ключевые слова: тонкие сверхпроводящие пленки NbN; функциональные сверхпроводящие наноэлементы из NbN; моделирование тепловых процессов.

Поступила в редакцию: 29.04.2022
Исправленный вариант: 29.04.2022
Принята в печать: 12.05.2022

DOI: 10.21883/FTT.2022.09.52810.44HH

Реферативные базы данных:

•