Механические свойства, физика прочности и пластичность

Влияние кристаллографической ориентации кремния на образование “первичных” трещин

В. И. Веттегрень^ab, А. Г. Кадомцев^a, И. П. Щербаков^a, Р. И. Мамалимов^ab, Г. А. Оганесян<sup>a

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
^b Институт физики Земли им. О. Ю. Шмидта РАН, Москва, Россия

Аннотация: При разрушении поверхности кремния образуются кластеры из самых мелких – “первичных” трещин. Их образование приводит к появлению сигналов “фрактолюминесценции” (FL). Сигналы и спектры FL содержали максимумы, число которых равно числу “первичных” трещин в кластере. Анализ сигналов и спектров FL показал, что при разрушении поверхностей (100) и (110) появлялись кластеры из четырех, а поверхности (111) – из трех “первичных” трещин. По скорости и времени роста оценены их размеры. Оказалось, что они кратны постоянной кристаллической решетки $a$: $\approx$ 3$a$, 4$a$ и 6$a$. В момент образования “первичные” трещины находятся в неравновесном состоянии и с течением времени трансформируются в дефекты, которые имеют вид “впадин” и “вершинок”. Их размеры от 2 до 4 раз меньше размеров “первичных” трещин.

Ключевые слова: кремний, разрушение, “первичные” трещины, фрактолюминесценция, интерференционная профилометрия.

Поступила в редакцию: 29.12.2021
Исправленный вариант: 29.12.2021
Принята в печать: 03.01.2022

DOI: 10.21883/FTT.2022.05.52337.268

Реферативные базы данных:

•