Эта публикация цитируется в 1 статье

Физика поверхности, тонкие пленки

Получение текстурированных пленок FeCo(110) и FeCo(200) магнетронным распылением на постоянном токе

А. С. Джумалиев^ab, В. К. Сахаров<sup>a

a</sup> Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
^b Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского

Аннотация: Представлены результаты исследования влияния напряжения смещения $U_b$ и температуры подложки $T_s$ на текстуру пленок FeCo толщиной 180 nm, осажденных магнетронным распылением на постоянном токе на подложки Si/SiO$_2$. Показано, что изменение $U_b$ от -250 до $\sim$ -80 V приводит к росту пленок с текстурой (110). Дальнейшее изменение $U_b$ от -80 до 250 V приводит к росту пленок с текстурой (200). Пленки, выращенные при $U_b$ = 0 и $T_s$ = 60-300$^\circ$С, имеют текстуру (200). Дальнейшее увеличение $T_s$ приводит изменению текстуры пленок на текстуру (110).

Ключевые слова: пленки FeCo, магнетронное распыление, текстура, коэрцитивность.

Поступила в редакцию: 20.10.2021
Исправленный вариант: 20.10.2021
Принята в печать: 25.10.2021

DOI: 10.21883/FTT.2022.02.51940.222

Реферативные базы данных:

•